氮化硅坩埚成型设备主要通过精密的机械与热工技术实现高性能陶瓷坩埚的制造。其核心设备为气动捣固成型机,利用压缩空气驱动的冲击头对混合好的氮化硅原料进行高速捣固压实,形成初步的坩埚坯体。该工艺能确保材料均匀分布,减少内部气孔,提高坯体致密度。成型后的坯体需经过高温烧结,氮化硅陶瓷在1900℃左右的高温下烧结,最终形成具有高硬度(莫氏硬度9~9.5)、优异耐热冲击性和化学惰性的坩埚产品。
设备生产过程中需严格控制原料纯度(如超高纯度99.7%的氮化硅粉)和烧结工艺参数,以避免杂质污染和性能缺陷。氮化硅坩埚因其耐高温、耐磨损的特性,广泛应用于单晶硅拉制、多晶硅铸锭及高端熔炼领域,是替代传统石英坩埚和石墨坩埚的关键升级产品。成型设备的技术水平直接影响坩埚的尺寸精度、热导率和使用寿命,因此需结合自动化控制与精密模具设计,确保批量生产的稳定性。
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